- Focus 001 独自の画像再構成ソフトウェア -

人工衛星に搭載された合成開口レーダ(SAR)のように、遠方にある電気の流れを美しい画像として映像化します。

電流経路映像化装置 -Focus 001-

磁気センサを使って電子部品の周りの磁場を測定するだけでは、鮮明な電気の流れを映像化することはできません。特に、厚いパッケージに覆われているときはなおさらです。Focus 001では、電子部品の周り磁場の測定データから、電子部品の内部の磁場の映像を数学的な方法により、作り出します。

- Focus 001 画像再構成原理 -

測定原理では、最先端の高感度薄膜磁気センサ(トンネル磁気抵抗効果素子)をデバイス周辺で2次元走査し、測定データを境界値として使い、静磁場の基礎方程式を解き、部品内部の電流経路を映像化します。ディリクレ条件とノイマン条件を両方測定し、磁気センサ周辺に浮遊磁場が存在する場合においても、正確に物質内部の磁場を再構成します。特定2次元平面にのみ電流経路が存在する場合は、電流分布を直接再構成します。Focus 001は、測定対象に応じて、再構成モードを切り替えます。

- Focus 001 画像再構成の前後 -

磁気センサと測定したい電流経路が保護膜等で隔てられている場合、電子部品周辺の磁場を測定しても、左図のようにぼやけてしまい、電子部品内部のどの部分に電流が流れているか判断できません。開発したソフトウェアにより、右図のように明瞭に電流経路を映像化することができます。再構成してみると、実は左図は、神戸大学の"神"の字に対応する電流経路であったことが分かります。

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- 金属薄膜下の電流経路の映像化 -

光学的な手法では、金属薄膜下の電流経路は映像化することができません。本手法では、金属薄膜下のどの箇所に電流が流れているか映像化することができます。右図は、金属薄膜下の配線にクラックが生じていることが非破壊で検査することに成功した事例です。内部検査を目的として、上部部品を壊すと、同時に内部も破損する可能性があります。この事例は、多層基板内部の問題箇所を非破壊で診断することができることを示しています。

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